研削ウェーハ厚さ

読み方:けんさくうぇーはあつさ

研削を行うウェーハの実際の厚み。面取りで上面と下面で研削幅ターゲットをコントロールするため、ウェーハ一枚毎に実際の厚みを正確に測定する。

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