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  3. 研削ウェーハ厚さ

研削ウェーハ厚さ

読み方:けんさくうぇーはあつさ

研削を行うウェーハの実際の厚み。面取りで上面と下面で研削幅ターゲットをコントロールするため、ウェーハ一枚毎に実際の厚みを正確に測定する。

関連製品

  • ウェーハエッジグラインディングマシン : W-GM-6200
  • ウェーハエッジグラインディングマシン:W-GM-5200
  • ウェーハエッジグラインディングマシン:W-GM-4200

関連用語

  • NC制御面取り
  • Rモード研削
  • T3モード研削
  • オリフラ研削
  • 外周面取り
  • コインマーク
  • 上面/下面研削幅(面幅)
  • 精研
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