上面/下面研削幅(面幅)

読み方:じょうめん/かめんけんさくはば(めんはば)

ウェーハ外周の面取り研削部分の幅。次工程以降、上面と下面で研削量が異なることから、面取り時に上面と下面で研削幅は異なるプロセスも存在する。