面焼け

読み方

めんやけ

説明

ウェーハを研削加工中、砥石の目詰まり・砥粒の潰れ等によって、切れが悪くなり、付加によるウェーハ加工面の温度上昇により表面が焼けてしまう状態(焼けた状態)のこと。