ノンコンタクトインプロセスゲージ(NCIG)

読み方:のんこんたくといんぷろせすげーじ

レーザー等の非接触タイプで加工中のウェーハ厚さをリアルタイムで測定、砥石軸の制御を行うための厚み測定機。