Siのウェーハの面取り機の実績は約95%となります。 W-GMシリーズは通算1000台以上の出荷実績があります。
Si,SiC,LT,LN,サファイア,GaAsなど様々な材料に対応しております。 他にも対応実績がありますのでご相談下さい。
2 inch~18 inchまで対応しております。 四角ウェーハは50 mm×50 mm~150 mm×150 mmまで対応しております。 その他のサイズにはついてはご相談ください。
対応しております。 OF及びノッチの加工についてはあらかじめウェーハに加工してある必要があります。
可能です。あらかじめウェーハに加工してある必要があります。
通常3か所まで対応しております。 それ以上になる場合はご相談ください。
可能です。
可能です。 Si/Si 、LN/シリコン、サファイア/シリコン、石英ガラス/シリコン、 LT/サファイア、LT/水晶など様々な材料に対応してます。
最大10 mmまでの実績がございます。 10 mmも可能ですのでご相談ください。
弊社機械では砥石を使用して加工を行います。 トリミングの角度は砥石の角度で決定するため、砥石の角度変更 することで様々な角度にすることが可能です。
ダイシングマシン ウェーハIDカメラ プローバ マーカー
外周面取り CMP カード ポリッシング・パッド 高剛性研削盤 ファインアライメント ウェット・ポリッシング ポリッシュ・グラインダ ニードル 品種パラメータ