プロービングマシンネットワーク:VEGA PLANET

テストエリアの効率向上に貢献する専用端末群です。

特徴

VEGA PLANETは装置で実施していた各種作業をPCで行う為のツールです。

VEGA PLANET

装置で実施していた各種準備、稼働確認等の作業等をクリーンルーム環境からオフィス環境で実施する事により、オペレータの作業性の改善が見込めます。また、装置を本来の「測定」に極力専念させる事により、高価なテスター・プローバの稼働率の向上が見込めます。更に、本ツールを利用してクリーンルームへの人の出入りを抑える事により厳しいクリーン度の維持に寄与致します。

ツール

VEGA PLANETは、以下のツールを提供致します。

品種データ作成、編集ツール(デバイスコマンダー)

パラメータ作成と編集
パラメータ作成と編集
マップ作成
マップ作成

稼動状況モニタ&リモートツール(リモートモニターツール)

マシン稼働状況
マシン稼働状況
プローバ画面表示
プローバ画面表示

マップファイルの閲覧、編集ツール(マップエディタ)

ウェーハIDと設定データ一覧
ウェーハIDと設定データ一覧
マップ表示
マップ表示

ログ解析ツール(ログ解析ツール)

解析表示
解析表示
検索画面
検索画面

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