プロービングマシン:UF60A

画像処理による自動ウェハアライメント、ローダを標準装備した、ディスクリートデバイス専用セミオートプローバ

特長

  • 3インチから6インチウェハまでを段取り替え無しで、カセットからウェハを自動搬送し測定可能なセミオートプローバです。
  • 軽量コンパクト設計により、省フットプリントかつ高スループットなテスト環境を実現します。 15インチタッチパネルLCDによる直感・軽快な操作性を実現します。

オプション

  • LED測定仕様(光関係ヘッド搭載、積分球搭載、マスタ素子搭載)
  • フレーム搬送仕様(ダイシング&エキスパンド5インチウェハ)
  • 2~4インチウェハ搬送仕様
  • 4個マルチ測定
  • ホットチャック仕様
  • ローダ増設仕様(最大3カセット)

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