プロービングマシン:UF3000EX-e

ハイ・コスト・パフォーマンス 300mm プロービングマシン

プロービングマシン:UF3000EX-e 製品写真
※2021年9月末日にて受注終了予定

特長

高速ウェーハハンドリングと専用駆動ユニットによる高速・高静粛XYステージの相乗効果により高スループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を実現しました。
従来の操作性を継承した大型ディスプレイの採用により、更に操作性を向上させました。
各種オプションとの組み合わせにより、あらゆるテスト環境に柔軟に対応します。

QPU超高剛性チャック(Quad-Pod Unit)

QPU超高剛性チャック

高い位置決め精度を効率良く再現するには、各部の剛性が非常に大きな役割を担います。
UF3000ではZ軸に新技術の4軸駆動機構(QPU)を採用することで高剛性かつ安定したプローブコンタクトを実現しています。

ロードポート

8inch、12inchカセットの両用プラットホーム化および、インスペクショントレイの前面配置により、ユーザニーズに即したテスト環境を提供いたします。
AMHS(Automated Material Handling System)にも対応。

ロードポートロードポート

TTG (Touch To Go)

UF3000は使い易さを追求し、タッチパネルに表示されるマップや画像に触れた場所に移動できる機能を採用し、セットアップを容易にし、さらにユーザー定義による画面構成を可能としています。

TTGTTG

オプション

  • 低温から高温までの測定環境
  • プローブカードの傾斜を補正するチルト補正機能
  • 清浄な測定環境を実現するFFU
  • 最大400kgfを超えるプロービング荷重
  • 1000kgfを超えるテストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ
  • ローノイズ測定環境
  • 高耐圧測定環境
  • 多彩なネットワーク環境
  • 高速針跡検査機能

半導体製造装置について

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