高精度、ハイスループット 300mmフラッグシッププロービングマシン
高速ウェーハハンドリングと専用駆動ユニットによる高速・高静粛XYステージの相乗効果により高スループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を実現しました。 カラーカメラの高倍率光学系を標準装備し、従来の操作性を継承した大型ディスプレイの採用により、操作性を更に向上させました。 各種オプションとの組み合わせにより、あらゆるテスト環境に柔軟に対応します。
ダイシングマシン ウェーハIDカメラ プローバ マーカー
外周面取り CMP カード ポリッシング・パッド 高剛性研削盤 ファインアライメント ウェット・ポリッシング ポリッシュ・グラインダ ニードル 品種パラメータ