プロービングマシン：UF3000EX
高精度、ハイスループット
300mmフラッグシッププロービングマシン
特長
高速ウェーハハンドリングと専用駆動ユニットによる高速・高静粛XYステージの相乗効果により高スループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を実現しました。
カラーカメラの高倍率光学系を標準装備し、従来の操作性を継承した大型ディスプレイの採用により、操作性を更に向上させました。
各種オプションとの組み合わせにより、あらゆるテスト環境に柔軟に対応します。
オプション
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低温から高温までの測定環境
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プローブカードの傾斜を補正するチルト補正機能
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清浄な測定環境を実現するFFU
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最大400kgfを超えるプロービング荷重
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1000kgfを超えるテストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ
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ローノイズ測定環境
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高耐圧測定環境
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多彩なネットワーク環境
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高速針跡検査機能
