プロービングマシン：UF3000EX

高速ウェーハハンドリングと専用駆動ユニットによる高速・高静粛XYステージの相乗効果により高スループットを実現。更に、Z軸は世界最高水準の耐荷重と高精度を実現しました。
カラーカメラの高倍率光学系を標準装備し、従来の操作性を継承した大型ディスプレイの採用により、操作性を更に向上させました。
各種オプションとの組み合わせにより、あらゆるテスト環境に柔軟に対応します。

• 低温から高温までの測定環境
• プローブカードの傾斜を補正するチルト補正機能
• 清浄な測定環境を実現するFFU
• 最大400kgfを超えるプロービング荷重
• 1000kgfを超えるテストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ
• ローノイズ測定環境
• 高耐圧測定環境
• 多彩なネットワーク環境
• 高速針跡検査機能