プロービングマシン：UF2000
高精度高剛性200mm
プロービングマシン
特長
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高剛性、高速動作技術に磨きをかけ、精度とスループットを向上。
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多彩なオプションにより、業界標準では定義されていない様々なウェーハテストへの対応を可能にします。
オプション
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低温から超高温までの測定環境
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テストヘッド用ヒンジ型マニピュレータ
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特殊搬送機構による反り・極薄ウェーハ搬送対応
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清浄な測定環境を実現するFFU
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ローノイズ測定環境
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高耐圧測定環境
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多彩なネットワーク環境
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高速針跡検査機能
