プロービングマシン:UF190R

ディスクリート向け高速プロービングマシン

特長

  • 4インチから8インチウェーハを搬送・測定します。
    UF2000と同じMMIを採用。
  • 多彩なオプションにより、業界標準では定義されていない様々なウェーハテストへの対応を可能にします。

オプション

  • 特殊搬送機構による反り・極薄ウェーハ搬送対応
  • 専用機構によるMEMS搬送
  • 微少電流測定
  • 高耐圧測定
  • 高速針跡検査機能

半導体製造装置について

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