プロービングマシン:AP3000/AP3000e

新世代超高性能プロービングマシン

特長

高精度、ハイスループット(インデックス移動、ウェーハハンドリング、ウェーハアライメント)、低振動、静粛を高水準で達成した新世代高性能プロービングマシンです。
新たにウィルス・マルウェア対策ソフトウェアを標準搭載しました。
また、前機種からの機能と操作性を継承、レシピ・マップデータの互換性も維持し、安全・安心・簡単にご使用いただけます。

オプション

  • ニードルクリーニング対応
  • クリーン化対応
  • 各種テストヘッド / プローブカード接続パーツ
  • ローダ:2ローダ / AMHS との自動化対応
  • ヘッドステージチルトユニット(プローブカードチルトユニット)
  • チャック:常温 / 高温 / 低温 /(各ローノイズ)
  • APC:プローブカード自動交換
  • カセット ID リーダ
  • ウェーハ ID リーダ(表面 / 裏面)
  • GB-IB インターフェース
  • ウェーハプロービングマシンネットワークシステム (Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM)
  • PCAS(プローブカードオートセットアップ)
  • プローブカードPGV

半導体製造装置について

お問い合わせ・資料請求

よく見られている専門用語集専門用語集ページへ


ダイシングマシン ウェーハIDカメラ プローバ マーカー

外周面取り CMP カード ポリッシング・パッド 高剛性研削盤 ファインアライメント

ウェット・ポリッシング ポリッシュ・グラインダ ニードル 品種パラメータ