プロービングマシン：AP3000/AP3000e
新世代超高性能プロービングマシン
特長
高精度、ハイスループット（インデックス移動、ウェーハハンドリング、ウェーハアライメント）、低振動、静粛を高水準で達成した新世代高性能プロービングマシンです。
新たにウィルス・マルウェア対策ソフトウェアを標準搭載しました。
また、前機種からの機能と操作性を継承、レシピ・マップデータの互換性も維持し、安全・安心・簡単にご使用いただけます。
オプション
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ニードルクリーニング対応
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クリーン化対応
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各種テストヘッド / プローブカード接続パーツ
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ローダ：２ローダ / AMHS との自動化対応
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ヘッドステージチルトユニット（プローブカードチルトユニット）
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チャック：常温 / 高温 / 低温 /（各ローノイズ）
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APC：プローブカード自動交換
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カセット ID リーダ
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ウェーハ ID リーダ（表面 / 裏面）
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GB-IB インターフェース
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ウェーハプロービングマシンネットワークシステム (Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM）
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PCAS（プローブカードオートセットアップ）
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プローブカードPGV
