高精度200 mmウェーハ CSP/WCSP 向けフレーム搬送対応プロービングマシン
フレームに貼り付けられたダイシング後のウェーハ、パッケージなどを独自開発補正技術により精度良く測定します。 ボタン一つでフレームも5~8インチウェーハも搬送・テストすることができる多彩なプローバです。
フレーム搬送プローバをリリースしてから15年の経験から蓄積されたアプリケーションソフトウェアにより、補正点数の最適化を実現します。
ダイシングマシン ウェーハIDカメラ プローバ マーカー
外周面取り CMP カード ポリッシング・パッド 高剛性研削盤 ファインアライメント ウェット・ポリッシング ポリッシュ・グラインダ ニードル 品種パラメータ