高剛性研削盤:HRG300/HRG300A

高剛性1軸研削盤。
大口径ワーク(300 mm)の枚葉研削加工や支持基板に取り付けた小径ワークのバッチ研削加工が可能です。

特長

高剛性

三角形状に配置されたスライドガイドの中心位置に加工点を配置し、且つ、インフィードの送り軸を加工点上に配置することにより、研削負荷に対して機械的変形の少ない構造となっています。

加工能率

高剛性が故に、研削ダメージを抑えながら短時間で加工ができます。

低加工コスト

高剛性が故に、適切な自生発刃にて加工ができます。砥石寿命が延びます。

バッチ処理対応IPG搭載

バッチ処理対応IPG搭載

バッチ処理対応のインプロセス・ゲージを搭載し、バッチ処理においてもウェハーの厚みを測りながら加工を行ないます。

常時ドレス機構 (オプション)

常時ドレス機構 (オプション)

砥石の目詰まりを感知して、必要な時に必要な分だけドレスを行なうことが可能です。

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