シンギュレーションマシン:PS300

独立型2ステージの開発により、切削・位置決めの並列処理を可能にし、最大2倍の高速ダイシングを実現。接続するハンドラーとの連携時間短縮により、システム全体の作業効率向上と処理時間を大幅に高速化

特長

ツイン切削ステージ機構と独立した顕微鏡駆動機構

2つの切削ステージ機構ならびに、スピンドル駆動軸と平行な顕微鏡駆動軸を搭載することにより、切削とアライメント並列処理を実現します。

Twin chuck system
ツイン切削ステージ機構と独立した顕微鏡駆動機構
ツイン切削ステージ機構と独立した顕微鏡駆動機構(特許申請)

広い切削エリア構成

広い切削エリア構成

PS300ではスムーズなスクラップ処理を行えるよう、広大な切削エリアを確保して、メンテナンス性を飛躍的に向上しています。

広く鮮明な画像処理

従来よりもさらに広視野、高解像度の光学系を採用することにより、広視野、且つ鮮明な画像でアライメント等の画像処理を実現。アライメントエラーの低減、及びアライメント時間の短縮を可能としています。(特許申請中)

広く鮮明な画像処理広く鮮明な画像処理

17インチタッチパネルモニタを採用

操作画面の大型により、視認性、操作性を向上します。

主なオプション

  • マクロ視野光学系
  • SECS機能
  • マルチ電源対応トランス
  • 比抵抗、流量モニタリング
  • 大容量真空ポンプユニット

USB インターフェイス採用

バージョンアップや品種データの保存などに威力を発揮するインターフェイスとしてUSB 方式を採用します。

半導体製造装置について

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