12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン
当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Cost of Ownership)を実現します
当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Cost of Ownership)を実現します
カタログPDF（569.7KB）
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12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン
ウエーハ・ハンドリングとフレーム・ハンドリングを自動で切り替える事により、切り替えのリスク、ダウンタイムの削減に貢献します
カタログPDF（1.3MB） -
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可視光顕微鏡を搭載した12インチレーザダイシングマシン
ウェーハハンドリング搬送機構。
お客様の様々なニーズに対応できる高パフォーマンスを発揮する12インチレーザダイシングマシンです。
ML300シリーズは生産および販売を終了いたしました。カタログPDF（345.5KB） -
セミオートダイシング等で切断・溝加工されたワークのスピン洗浄・乾燥に最適です
エア加速洗浄とスウイングアーム式洗浄ノズルの駆動範囲をワークサイズに合わせることで優れた洗浄能力を実現
最大12インチフレームまで対応できますカタログPDF（312.0KB） -
