プラズマダイシング向けアブレーションレーザダイシングマシン:AL300P

高出力・高周波パルスレーザー搭載
PSFS※製プラズマダイシング搭載(APX300-DM)専用に開発されたレーザパターニング装置です

※PSFS :パナソニック スマートファクトリーソリューションズ株式会社

特徴

プラズマダイシングの前工程でレジストなどのマスク層が貼り付けられたシリコンウェーハを、
UVレーザ加工により、ダイシング位置に所定の幅で高精度にパターニング可能です。

  • 最小15μm幅でのレーザパターニングが可能 (デバイス構造によります)
  • プラズマダイシングに最適なレーザビーム形状
  • 省フットプリント(W1180×D1800×H1800コーターオプション除く)

プロセスフロー

プラズマダイシングのプロセスフロー

東京精密製レーザパターニング装置 AL300P

パナソニック スマートファクトリーソリューションズ製
プラズマダイサー APX300-DM

実証センター

PSFS では、大阪府門真市にあるプラズマダイシング実証センターに、レーザパターニング装置 AL300P を導入、PSFS 製プラズマダイサーAPX300-DM と一気通貫で実証できる体制を構築しました。

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