AL3000

UVレーザ光を用いて、ダイシングストリート上にあるLow-K材や、金属メタルなどを高品位に除去します。
独自のレーザエンジン機構により、高品質加工と高スループットを両立します。

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特長仕様 Laser grooving process プラズマダイシングプロセス

特長

独自のレーザエンジン機構により、高品質加工と高スループットを両立
従来のLaser grooving processでは、高加工品質と高スループットの両立は難しく、トレードオフの関係にありました。
弊社独自のレーザエンジン機構+高剛性プラットフォームの組合せにより、トレードオフを解消した、
高品位で高スループットのLaser groovingプロセスを提供します。

Φ300mmウエーハ対応フルオート Laser groovingマシン
水溶性保護膜塗布から、レーザダイシング、洗浄まで一連の工程を自動対応します。

Laser grooving process 対応
Low-kグルービング、ストリート上のTEG除去に最適な光学設計。
熱による加工歪や、ダメージを最小限に留め、安定した加工溝を形成します。

操作性
17inchタッチパネル＋GUI （Graphical User Interface）を採用。
アイコン化されたボタンをタッチするだけで簡単操作で快適なオペレーションを実現。
使い慣れた、AD/SSシリーズと共通の操作体系を搭載。

仕様

装置名		AL3000
加工方式		アブレーション
レーザ発振器		半導体レーザ励起 Qスイッチ固体レーザ
波長		355 nm
最大ワークサイズ		Φ 305 mm
加工可能範囲		310 mm x 310 mm
X 軸	最高速度	1,000 mm/sec
Y 軸	最高速度	300 mm/sec
Y 軸	制御分解能	0.078 μm
Z 軸	Z 軸最高速度	10 mm/sec
Z 軸	Z 軸繰り返し精度	1.0 μm
θ軸	θ軸最大回転角度	380.0 deg

電圧	(V)三相AC200 ～ 220V ± 10％ 50/60Hz 上記以外ではトランスが必要です
消費電力	2.0 kVA（参考値）
空気供給圧力	0.5 ～ 0.7 MPa
空気平均消費量	400 L/min
N2 供給圧力	0.3 ～ 0.5 MPa
N2 平均消費量	30 L/min
純水供給圧力	0.3 ～ 0.5 MPa
純水最大消費流量	6.0 L/min
排気量	4.0 以上 m³/min
装置外形寸法 WxDxH	1,645 mm x 1,680 mm x 1,800 mm
装置重量	2,500 kg