ダイシングマシン:
AD3000T-PLUS

12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン
当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Cost of Ownership)を実現します

特長

新GUI
新GUI
  • オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
  • 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
    (オプションで8万回転仕様対応可)
  • ハイスループット
    ①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
    ②光学式カッタセット部 2個搭載
  • 17インチタッチパネル式液晶モニタ+新GUI
    GUI(グラフィカル・ユーザ・インターフェース)を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
  • イージーメンテナンス
    フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善

充実のオプション

  • ドレスステージ
    75mm×75mmサイズドレスボードを2枚搭載。 各スピンドルのブレードを専用ボードでドレス可能。
  • エアマイクロメータ搭載可能
    テープの厚み、ウェーハの厚みを非接触で計測。 加工高さに反映し、高精度な切り込み位置制御を実現。
  • 加工ハイトの高精度化制御
    加工中にX、Y、Z軸を同期制御し、ウェーハのうねりに追従した高精度加工を実現。

設置スペース

設置スペース

AD3000T-PLUSは、従来機と比較して小型化に成功しました。

半導体製造装置について

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