ダイシングマシン：
AD3000T-PLUS
12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン
当社コアを駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により優れたCoO(Cost of Ownership)を実現します
特長
新GUI
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オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
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最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備（オプションで8万回転仕様対応可）
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ハイスループット①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
②光学式カッタセット部 2個搭載 -
17インチタッチパネル式液晶モニタ＋新GUIGUI（グラフィカル・ユーザ・インターフェース）を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
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イージーメンテナンスフロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
充実のオプション
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ドレスステージ75mm×75mmサイズドレスボードを2枚搭載。 各スピンドルのブレードを専用ボードでドレス可能。
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エアマイクロメータ搭載可能テープの厚み、ウェーハの厚みを非接触で計測。 加工高さに反映し、高精度な切り込み位置制御を実現。
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加工ハイトの高精度化制御加工中にX、Y、Z軸を同期制御し、ウェーハのうねりに追従した高精度加工を実現。
設置スペース
AD3000T-PLUSは、従来機と比較して小型化に成功しました。
