ダイシングマシン:
AD3000T-HC PLUS

12インチ対応 フルオートマチックダイシングマシン
ウエーハ・ハンドリングとフレーム・ハンドリングを自動で切り替える事により、切り替えのリスク、ダウンタイムの削減に貢献します

特長

新GUI
新GUI
  • WH/FH自動切り替え
    ウェーハ・ハンドリングとフレーム・ハンドリングを自動で切り替える事により、切替のリスク、ダウンタイムの低減に貢献します
  • FOUPS Opener標準搭載
    FOUP蓋の自動開閉によりウェーハ破損のリスク、ロット処理中の感染汚染のリスクを低減します
  • 非接触ワーク厚みセンサ標準搭載
    エアマイクロセンサを搭載し、ワーク等の厚みを高精度測定
  • オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
  • 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
    (オプションで8万回転仕様対応可)
  • スループットの向上
    ①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
    ②光学式カッタセット部 2個搭載
    ③世界最小ブレード間ピッチ
  • 17インチタッチパネル式液晶モニタ+新GUI
    GUI(グラフィカル・ユーザ・インターフェース)を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
  • 複雑なパラメータ設定無しでのカーフチェック機能搭載
    (AIカーフチェック機能)
  • HDD内にレシピデータを10,000件以上管理可能
  • USBポート標準搭載
    (USBメモリを外部記憶装置として使用可能)
  • メンテナンス性向上
    フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
  • 切削テーブル面内補正機能(Active-Z)
    テーブル面内の高さバラツキを補正し、高精度なハイト制御を実現

設置スペース

設置スペース

AD3000T-HC PLUSは、従来機と比較して小型化に成功しました。

半導体製造装置について

お問い合わせ・資料請求

よく見られている専門用語集専門用語集ページへ


ダイシングマシン ウェーハIDカメラ プローバ マーカー

外周面取り CMP カード ポリッシング・パッド 高剛性研削盤 ファインアライメント

ウェット・ポリッシング ポリッシュ・グラインダ ニードル 品種パラメータ