ワイヤーソーでスライス後のインゴット洗浄からウェーハ枚葉化、スクラブ洗浄を経てカセット収納まで行う、多機能型の洗浄装置です。
ダイシングマシン ウェーハIDカメラ プローバ マーカー
外周面取り CMP カード ポリッシング・パッド 高剛性研削盤 ファインアライメント ウェット・ポリッシング ポリッシュ・グラインダ ニードル 品種パラメータ