サーフコム NEX 100

用途に応じて検出器・駆動部・測定台を選択できる幅広い拡張性

特長

世界初 粗さ・輪郭形状測定用デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器(特許取得済)

デュアルセンサ搭載ハイブリッド検出器 NEX 100 [E-DT-CR14B]
世界初のデュアルセンサを搭載
一度の測定で粗さ評価と輪郭形状評価を行う統合検出器
指示精度 ±(1.0 + |2H|/100)μm
測定範囲(Z 軸) 5 mm(標準測定子 使用時)

東京精密が独自に開発した「デュアルセンサテクノロジ」( 特許取得済)。この高精度化技術を搭載する世界初の新型ハイブリッド検出器です。従来の検出器とは異なり、広範囲時に安定した精度のリニアスケールと、狭範囲ながら高分解能の差動インダクタンス、この異なるセンサをデュアル化。これらの2つのセンサを測定時に同時センシングすることで、センサのポテンシャルを最大限に引き出します。
 また、新型ハイブリット検出器は、当社従来機をご利用のお客様にもお使い頂けるよう、従来のリニアシリーズ(DX2/SD2 以降)との互換性も有しています。

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