サーフコム CREST DX
特長
高安定倍光路型レーザ干渉センサ
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東京精密の要素技術の一つである光ファイバによるレーザ干渉測長システムを応用し、分解能0.31 nm の高安定倍光路型レーザ干渉センサを開発し搭載しました。
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ダイナミックレンジと分解能比は42,000,000：1 もあり、広い範囲の輪郭形状とその形状に隠れている微細な表面形状をワントレースで評価できる画期的なものです。
サーフコム CREST DX/SD
世界最高水準の高精度・高速測定・高分解能を実現
駆動部にリニアモータ搭載（特許取得済）
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リニアモータ駆動で高精度・高速移動を実現しました。
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低振動化により安定した高倍率測定が可能です。
1 回の測定で粗さと輪郭の解析
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高精度を保ちながら測定の効率アップが可能です。
測定部の高速化（200 mm/s）によるスループットの向上
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横方向200 mm、縦方向13 mm の広い測定範囲
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駆動部傾斜装置により、± 45°の自動制御が可能（SURFCOM CREST-Tタイプ）
