PULCOM スーパーΣ
パルコム スーパーΣ
超高精度測定ヘッド
特徴
インラインで0.1μm の高精度
繰返し精度0.1μm（25 回）を実現。
温度変化に強い
温度環境が10℃変化したとき測定値の変化は0.5μm以下を実現。
長時間のアイドリング不要
電源投入後10分で測定値の変化は0.1μm以下を実現。
外観図
外観寸法図
詳細仕様
| 型式 | スーパーΣ | スーパーΣ-OD-AR | スーパーΣ-ID-AR | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 主な用途 | 円筒外径 | 円筒外径・外幅 | 円筒内径・内幅 | ||
| 型式 | 垂直面内 | ℓ=42mm | E-TS-7151 | E-TS-7161 | E-TS-7181 |
| ℓ=82mm | E-TS-7152 | E-TS-7162 | E-TS-7182 | ||
| 水平面内 | ℓ=42mm | E-TS-7155 | E-TS-7165 | E-TS-7185 | |
| ℓ=82mm | E-TS-7156 | E-TS-7166 | E-TS-7186 | ||
| 測定範囲 | （）内ポスト | φ8～φ65mm | φ8～φ65（φ1～φ65）mm | φ3～φ65mm | |
| ストローク | フィンガ長 | ℓ=42の時 | 1.5mm（片側） | 1.5mm（片側） | |
| フィンガ長 | ℓ=82の時 | 2.4mm（片側） | 2.4mm（片側） | ||
| フロントトラベル | フィンガ長 | ℓ=42の時 | 0.12～0.15mm | 0.12～0.15mm | |
| フィンガ長 | ℓ=82の時 | 0.19～0.24mm | 0.19～0.24mm | ||
| 繰り返し精度 | 0.1μm | 0.2μm | 0.2μm | ||
| 測定力 | 0.75±0.15N | 0.75±0.15N | |||
| リトラクト用空気源 | - | 0.3～0.5MPa | 0.3～0.5MPa | ||
| ヘッド質量 | 約1.3kg | ||||
| 防水規格 | IP67準拠 | ||||
