Opt-scope 製品写真
3D白色干渉顕微鏡
非接触三次元表面粗さ・形状測定機

Opt-scope

ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡。

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製品バリエーション

Opt-scope R
複数レンズ搭載
Opt-scope R200
複数レンズ搭載&電動XYステージ(移動量200×200 mm)
Opt-scope Rex
複数レンズ搭載&電動XYステージ(移動量400×400 mm)
Opt-scope S+
単一レンズ搭載

特長

NEWオプション!フォーカスバリエーション測定機能で、ミリ形状を高速測定。

フォーカスバリエーション測定機能は、三次元表面性状の国際規格ISO 25178-6:2010 に測定方法として定められている全焦点画像顕微鏡法 (focus variation microscopy) に基づき、白色干渉法では難しかった急傾斜を含むミリメートルレベルの形状測定を行えるオプションです。本機能と通常の白色干渉法による測定を併用することにより、Opt-scope1台でさらに多様な測定ニーズにお応えします。

NEWオプション!フォーカスバリエーション測定機能で、ミリ形状を高速測定。
NEWオプション!フォーカスバリエーション測定機能で、ミリ形状を高速測定。

3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは高分解能。 高速。 広範囲。

3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を1ショットで高速測定が可能です。レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。

Opt-scope 3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは高分解能。 高速。 広範囲。

様々なワークピースサイズに応じてカスタマイズ

Opt-socpeはワークピースサイズに応じたラインナップをご用意しております。
電動XYステージの駆動範囲が25mm角、50mm角が選べる標準タイプのR、200mm角のR200、
そして400mm角から最大600mm角まで拡張可能な特殊対応大型タイプRexが新たにラインナップに加わりました。
サイズが大きなワークピースが多い半導体・半導体製造装置・金型などの測定にご活用いただけます。

様々なワークピースサイズに応じてカスタマイズ

触針式との高い相関性

東京精密はマーケットリーダーとして長年触針式表面粗さ測定機を販売しており、Opt-scopeは触針式との測定結果の相関性を有しております。

触針式との高い相関性

ISO 25178-2、JIS B 0681-2 三次元表面性状パラメータに準拠

東京精密は、国際標準化機構の技術委員会(ISO / TC213)に長年参画し、三次元表面性状計測の普及・推進活動を行っております

高速カメラオプションでスキャン速度が6 倍にUP

精度に応じて選べる2モード。高速モードがさらに高速になりました。

高速カメラオプションでスキャン速度が6 倍にUP

透明多層膜測定機能で膜厚解析

厚みが光学長1.5 μm 以上の透明膜を最大積層6(7 界面)までとし、最表面の面性状をはじめ、各層の膜厚、膜厚分布の解析が可能です。

透明多層膜測定機能で膜厚解析

評価・解析例

三次元粗さ解析例、任意断面の二次元粗さ解析例
微細形状解析例
輪郭解析 (Contour)/(Advanced Contour)、グレイン解析(Grain & Particle)

プロジェクトストーリー

高分解能。高速。広範囲。ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡

関連情報