非接触三次元表面粗さ・形状測定機　Opt-scope

３D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01nmと高分解能、ナノ表面性状を低倍率レンズで測定できるから広範囲を１ショットで高速測定が可能です。レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。

Opt-socpeはワークピースサイズに応じたラインナップをご用意しております。
電動XYステージの駆動範囲が２５mm角、５０mm角が選べる標準タイプのR、２００mm角のR200、
そして４００mm角から最大６００mm角まで拡張可能な特殊対応大型タイプRexが新たにラインナップに加わりました。
サイズが大きなワークピースが多い半導体・半導体製造装置・金型などの測定にご活用いただけます。

東京精密はマーケットリーダーとして長年触針式表面粗さ測定機を販売しており、Opt-scopeは触針式との測定結果の相関性を有しております。

東京精密は、国際標準化機構の技術委員会（ISO / TC213）に長年参画し、三次元表面性状計測の普及・推進活動を行っております。

精度に応じて選べる2モード。高速モードがさらに高速になりました。

厚みが光学長1.5 μm 以上の透明膜を最大積層6（7 界面）までとし、最表面の面性状をはじめ、各層の膜厚、膜厚分布の解析が可能です。