DISTAX

DISTAX ではレーザ光源と干渉計をファイバで結合することにより、「干渉計」と「反射鏡」の2つの位置調節でOK。
セッティングの容易さに加え、取り回しの良さも大幅に向上しています。
また、ファイバを採用することで干渉計を光源と独立して動かすことが可能になります。
測定方向の切替など従来ではできない測定を提供します。

オペレータは干渉計のセッティングのみで完了。
レーザの射出方向切替え、工作機械のステージ、主軸移動はDISTAX専用のソフトウェアが自動制御。工作機械NCとの通信により、各軸の測定開始から補正入力、最終検査まで自動で進行します。
光源と干渉計の位置関係に制約がないファイバ結合方式だから実現できた全自動測定ソリューションです。