ウェーハ厚さ測定器 WT-425シリーズ

高精度ウェーハ厚さ測定専用システム

  • 写真は3~8インチ用です

特長

●各種ウェーハサイズに適合(3、4、5、6、8、12インチ)
●移動時は高圧エアでウェーハを浮上させるので,傷の心配がありません
●上下2ヶの測定器で挟み込んで測定するため,反りのあるウェーハでも安定して測定可能です
●先端子の材質はルビーです.その他材質(超硬材など)も選択可能です

φ 6 ルビー球先端子
 測定データの管理方法

 

・USBメモリにCSV形式で保存可能

・RS-232C通信機能 (オプション)

 RS-232C+データリンクソフト(Microsoft Excelアドイン)の組合せにより測定結果を自動的にパソコンのExcelに取り込みます

 

詳細仕様

品名 WT-425
(3 ~ 8 インチ用)
WT-425S
(8 & 12 インチ用)
商品コード 4251863 4252665
精 度
( 温度20℃±1℃)
指示精度:±0.8 μm/ストローク3 mm以内
繰返し精度:0.2 μm (2σ)
測定部 検出器 PHA-13WL
測定力 0.3~2.0 N(30 ~ 200 gf)
対応ウェーハ径 φ3”、φ4”、φ5”、φ6”、φ8” φ8”、φ12”
リトラクトストローク 5 mm~
寸法 320 (W) ×320 (D) ×357 (H) mm 570 (W) ×550 (D) ×357 (H) mm
表示ユニット 型式 MINICOM-XD
表示部 3.5インチ TFTカラーLCD
表示範囲 ±999,999.9 μm
分解能 0.1 μm
表示単位 mm、μm から選択
電源 DC24V、0.5 A
消費電力 5 W

外観図

3 ~ 8 インチ用
8 & 12 インチ用

精密測定機器について

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