ZEISS O-INSEPCT

三次元測定機、投影機、光学顕微鏡、輪郭形状測定機が持つ機能を統合
小型部品の測定評価をこの1 台で実現

特徴

接触式と非接触式センサを備えたマルチセンサ測定機

接触式と非接触式センサを備えたマルチセンサ測定機

接触式高精度スキャニングセンサ VAST XXTと、非接触式高精度画像センサ Discovery. V12を標準搭載しています。さらに、白色光距離センサ ZEISS DotScan による三次元微細構造の非接触測定も可能。ZEISS の工業用測定機部門の定評ある測定技術と、顕微鏡部門の卓越した光学技術とが融合したオールインワン測定機です。

ZEISSレンズで測定する感動を。
テレセントリックズームレンズ Discovery.V12

Discovery.V12 は、さまざまな材質のワークの高精度な画像測定が可能です。切り替え式10 段階ズームレンズによる再現性の高い結果を保証します。また、テレセントリック方式の採用により、物体への距離に依存せずに正確な寸法を測定することができます。

  • 全倍率で共通の長作動距離
    Discovery.V12 の作動距離は、全倍率で87 mm のロングディスタンスを実現。測定物に対するセンサの接近を必要以上に気にせず操作することができます。
  • 自動照明設定が可能*
    O-INSPECTでは、コントラストが最大となるような照明設定を自動で行い、最適なエッジ検出を行うことができます。得られた照明設定は保存でき、2回目以降の測定時に利用することで、照明設定の違いによって生じるばらつきを抑え、均質な測定結果を得られます。

*CALYPSO2016以降が必要

  • 光沢面でもムラなくエッジ認識
    新型レンズカバーを搭載し、測定時の照明の反射ムラを軽減。測定箇所が光沢面でも、エッジをしっかりと認識します。

接触式スキャニングプローブ VAST XXT

O-INSPECT は接触式スキャニングプローブ VAST XXTを標準搭載しています。

  • 高精度スキャニング測定が可能
    画像センサでは測定が難しい深穴やワーク側面・斜め穴なども、VASTXXT で測定が可能です。スキャニング測定機能を有しているため、シングル点の測定だけでなく、形状も正確に捉えることができます。
  • 広い精度保証温度範囲
    接触式測定では、18 ℃ ~ 30 ℃の広い温度範囲で精度を保証します。

多種多様なワークを非接触、かつ高速で測定できる白色光距離センサ ZEISS DotScan(オプション)

ZEISS DotScan は共焦点の原理を応用した白色 光距離センサです。三次元的な微細構造や、ガラスやレンズ等の透明な部品、接触式で測定は変形してしまう柔らかい部品、研磨後の光沢面など、様々なワークの非接触測定を実現します。センサは測定範囲の異なる3 種類から選択でき、後からでも異なる測定範囲のセンサを追加することができます。

  • 透明部品の板厚やコーティング後の下地面の形状測定が可能
    測定データから複数のピークを検出し、 透明ワークの表面形状や膜厚、透明なコーティングの膜厚を測定できます。
  • 微細形状やエッジの測定に最適(半径補正不要)
    最小φ8 μm(測定範囲1 mm 仕様)の小さなスポット径で、微細構造や微小なエッジ部の形状を正確に測定可能です。
  • 鏡面ワークをスプレー無しで高精度非接触測定
    鏡面などの強い光沢のあるワークでも、スプレーを塗布せずそのまま測定できます。
  • フラットなワークを非接触かつ超高速で平面度測定
    ワーク表面への影響を避けるため従来はポイント測定で平面度を評価していたワークも、ZEISS DotScanであれば非接触かつ超高速のスキャニング測定で測定時間を大幅に短縮できます。

精密測定機器について

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