「JIMTOF2022」にて初公開
非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope 向けオプション
フォーカスバリエーション測定機能 販売開始のお知らせ

2022年11月7日

株式会社東京精密は、非接触三次元表面粗さ・形状測定機 Opt-scope（オプトスコープ）向けのオプションとして、新開発の ”フォーカスバリエーション測定機能” を販売開始するとともに、2022年11月8日（火）から13日（日）に東京ビッグサイトで開催される第31回日本国際工作機械見本市 JIMTOF 2022 にて本機能を搭載したOpt-scopeを展示、初公開いたします。

Opt-scopeは、東京精密独自の包絡線/絶対位相検出アルゴリズム “DEAP” を用いた白色干渉法により、ナノ・サブナノメートルレベルの微細な表面粗さや3D形状を、高分解能かつ高精度に評価できる測定機です。この特長を活かした高精度非接触ソリューションにより、Opt-scopeは自動車業界や半導体・半導体製造装置業界をはじめとする最先端のモノづくりに貢献してまいりました。

このたび新機能として販売を開始する ”フォーカスバリエーション測定機能” は、三次元表面性状の国際規格ISO 25178-6:2010 に測定方法として定められている全焦点画像顕微鏡法 (focus variation microscopy) に基づき、白色干渉法では難しかった急傾斜を含むミリメートルレベルの形状測定を行えるオプションです。この ”フォーカスバリエーション測定機能” と通常の白色干渉法による測定を併用することにより、Opt-scope１台でさらに多様な測定ニーズにお応えできるようになります。

是非この機会に展示会場まで足をお運びいただき、本機能を搭載したOpt-scopeをご覧くださいますよう、よろしくお願い申し上げます。

株式会社東京精密　計測事業推進部　マーケティング室