非接触三次元粗さ・形状測定機　Opt-scopeシリーズ
特殊対応大型タイプ“Opt-scope Rex”販売開始のお知らせ

株式会社東京精密（以下、当社）は、ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡である特殊対応大型タイプ“Opt-scope Rex ”を新たに販売開始いたしました。

本機は非接触三次元粗さ・形状測定機Opt-scopeの大型タイプとして新たにラインナップに加わりました。
これまでのOpt-scopeシリーズでは電動XYステージの駆動範囲が最大200 mm角でしたが、“Opt-scope Rex ”では400～600 mm角まで対応が可能となりました。加えて、XY電動ステージ駆動範囲を600mm以上にしたい、ワーク最大重量を増やしたい、などのお客様のご要望へも対応いたします。

”Opt-scope Rex”ではナノレベルの表面性状（粗さ・微細形状）の測定が可能です。サイズが大きいワークピースの多い、半導体・半導体製造装置・金型などの測定にご活用いただけます。
当社は、お客様の幅広い測定ニーズにお応えするために、今後も製品ラインアップを強化して参ります。