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非接触三次元粗さ・形状測定機 Opt-scopeシリーズ 特殊対応大型タイプ“Opt-scope Rex”販売開始のお知らせ

非接触三次元粗さ・形状測定機 Opt-scopeシリーズ
特殊対応大型タイプ“Opt-scope Rex”販売開始のお知らせ

2021年7月5日

株式会社東京精密(以下、当社)は、ナノレベルの表面性状を測定する3D白色干渉顕微鏡である特殊対応大型タイプ“Opt-scope Rex ”を新たに販売開始いたしました。

 

本機は非接触三次元粗さ・形状測定機Opt-scopeの大型タイプとして新たにラインナップに加わりました。
これまでのOpt-scopeシリーズでは電動XYステージの駆動範囲が最大200 mm角でしたが、“Opt-scope Rex ”では400~600 mm角まで対応が可能となりました。加えて、XY電動ステージ駆動範囲を600mm以上にしたい、ワーク最大重量を増やしたい、などのお客様のご要望へも対応いたします。

 

”Opt-scope Rex”ではナノレベルの表面性状(粗さ・微細形状)の測定が可能です。サイズが大きいワークピースの多い、半導体・半導体製造装置・金型などの測定にご活用いただけます。
当社は、お客様の幅広い測定ニーズにお応えするために、今後も製品ラインアップを強化して参ります。

非接触三次元粗さ・形状測定機 Opt-scopeシリーズ 特殊対応大型タイプ“Opt-scope Rex”販売開始のお知らせ

 

【基本仕様】Opt-scope Rex st400

計測方式

:垂直走査型低コヒーレンス干渉法

垂直分解能

:0.01 nm

Z軸指示精度

:±(0.1 +|H/1000|) µm (H:測定高さ µm)

最大ワーク高さ

:102 mm

最大ワーク積載質量

:30 kg

電動XYステージサイズ

:400 mm角

 

【本製品詳細】
Webサイト 光学測定機 製品ページ

 

【製品に関するお問い合わせ先】
 株式会社東京精密 計測事業推進部 マーケティング室

 住所

 :茨城県土浦市東中貫町4

 TEL

 :029-831-1234(代)

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