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3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは
高分解能。 高速。 広範囲。
3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01 nmと高分解能。そのためナノ表面性状の評価にも低倍率レンズを使用でき、1ショットで広範囲を高分解能に、しかも高速で測定可能です。レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。

様々なワークピースサイズに応じてカスタマイズ
Opt-scopeはワークピースサイズに応じたラインナップをご用意しております。 電動XYステージの駆動範囲が25mm角、50mm角が選べる標準タイプのR、200mm角のR200、そして400mm角から最大600mm角まで拡張可能な特殊対応大型タイプRexが新たにラインナップに加わりました。サイズが大きなワークピースが多い半導体・半導体製造装置・金型などの測定にご活用いただけます。

特殊対応大型タイプ Opt-scope Rex
東京精密独自の高速専用アルゴリズムDEAPを搭載した、ナノレベルの表面性状を測定する白色干渉顕微鏡Opt-scopeシリーズ。このたびシリーズに新たに加わった特殊対応大型タイプOpt-scope Rex は、高精度に測定できるだけでなく、電動XYステージの駆動範囲を400mm角まで拡張(最大600mm角まで対応可)したことで、より広範囲の表面性状評価を実現します。サイズが大きなことの多い、半導体・半導体製造装置部品・金型などの測定にご活用いただけます。


※さらなる高さUPも対応可能
最大ワーク高さ102mm
※更なる質量UPも対応可能
最大ワーク積載質量30kg
※サイズ変更・ネジ穴加工等にも対応
ステージオプション、天板のカスタマイズ
※縦長・横長も可能
※装置外形寸法はステージサイズによる
XYステージサイズ可変対応
※アクティブ除振台にも対応
パッシブ除振台
※ユニット構成によってはすべて収納できない場合があります
PC、各軸制御ユニットを収納仕様と特長のポイント
東京精密独自の包絡線/絶対位相検出アルゴリズムDEAP(Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase)を搭載。より広い測定範囲で高感度に包絡線を算出します。DEAPの測定ノイズ低減効果により、従来では上手く測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能になりました。
独自の白色干渉縞 ピーク検出手法 DEAP
ディープ(Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase)とは 東京精密独自の包絡線 / 絶対位相検出アルゴリズムです。PSI (位相シフト干渉法)よりも広い測定範囲を持ち、 VSI (垂直走査型干渉法)よりも高い分解能かつ広い測定範囲で、更に高感度に包絡線を算出します。 ディープの測定ノイズの低減効果により、圧倒的な実効分解能を実現することで、 従来では上手く測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能になりました。

高速カメラオプションNEW スキャン速度が6倍にUP※
精度に応じて選べる2モード。 高速モードがさらに高速になりました。※1 推奨画素数使用時
