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Opt-scope Rex
0.01nm の高分解能で高速測定。
狭い範囲の微細粗さから、広範囲のうねり形状解析まで、幅広く応用が可能。
大型ワークピースの表面性状をナノレベルで測定できる
3D白色干渉顕微鏡
高分解能、高速、広範囲。2D/3Dの表面粗さや欠陥、微細形状を高精度かつ短時間で評価できるOpt-scopeシリーズに、大型・高重量ワークピースに対応できる大型タイプが加わりました。
3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは
高分解能。 高速。 広範囲。
3D白色干渉顕微鏡Opt-scopeは、レンズ倍率に関わらず垂直方向に一律0.01 nmと高分解能。そのためナノ表面性状の評価にも低倍率レンズを使用でき、1ショットで広範囲を高分解能に、しかも高速で測定可能です。レーザー顕微鏡や他の非接触測定原理では測定が難しいサブナノ表面粗さ、透明体、高アスペクト比構造を高い再現性で測定します。
様々なワークピースサイズに応じてカスタマイズ
Opt-scopeはワークピースサイズに応じたラインナップをご用意しております。 電動XYステージの駆動範囲が25mm角、50mm角が選べる標準タイプのR、200mm角のR200、そして400mm角から最大600mm角まで拡張可能な特殊対応大型タイプRexが新たにラインナップに加わりました。サイズが大きなワークピースが多い半導体・半導体製造装置・金型などの測定にご活用いただけます。
特殊対応大型タイプ Opt-scope Rex
東京精密独自の高速専用アルゴリズムDEAPを搭載した、ナノレベルの表面性状を測定する白色干渉顕微鏡Opt-scopeシリーズ。このたびシリーズに新たに加わった特殊対応大型タイプOpt-scope Rex は、高精度に測定できるだけでなく、電動XYステージの駆動範囲を400mm角まで拡張（最大600mm角まで対応可）したことで、より広範囲の表面性状評価を実現します。サイズが大きなことの多い、半導体・半導体製造装置部品・金型などの測定にご活用いただけます。
最大ワーク高さ102mm
※さらなる高さUPも対応可能
最大ワーク積載質量30kg
※更なる質量UPも対応可能
ステージオプション、天板のカスタマイズ
※サイズ変更・ネジ穴加工等にも対応
XYステージサイズ可変対応
※縦長・横長も可能
※装置外形寸法はステージサイズによる
パッシブ除振台
※アクティブ除振台にも対応
PC、各軸制御ユニットを収納
※ユニット構成によってはすべて収納できない場合があります
仕様と特長のポイント
東京精密独自の包絡線/絶対位相検出アルゴリズムDEAP（Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase）を搭載。より広い測定範囲で高感度に包絡線を算出します。DEAPの測定ノイズ低減効果により、従来では上手く測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能になりました。
独自の白色干渉縞 ピーク検出手法 DEAP
ディープ（Algorithm for Detection of Envelope and Absolute Phase）とは 東京精密独自の包絡線 / 絶対位相検出アルゴリズムです。PSI （位相シフト干渉法）よりも広い測定範囲を持ち、 VSI （垂直走査型干渉法）よりも高い分解能かつ広い測定範囲で、更に高感度に包絡線を算出します。 ディープの測定ノイズの低減効果により、圧倒的な実効分解能を実現することで、 従来では上手く測定できなかった機械加工部品の傾斜面でも、より鮮明な形状データの取得が可能になりました。
高速カメラオプションNEW スキャン速度が6倍にUP※
精度に応じて選べる2モード。 高速モードがさらに高速になりました。※1 推奨画素数使用時
