主な事業は、半導体製造装置と精密計測機器の製造、販売です。
主な製品は次の通りです。
- 半導体製造装置 :
- ウェーハプロービングマシン、ウェーハダイシングマシン、精密切断ブレード、ポリッシュ・グラインダ、CMP装置、スライシングマシン※、面取り機※
※ 東精エンジニアリングで開発・製造を行なっている製品です
- 精密計測機器 :
- 三次元座標測定機、表面粗さ・輪郭形状測定機、真円度測定機、光学測定機器、マシンコントロールゲージ※、各種センサ※
※ 東精エンジニアリングで開発・製造を行なっている製品です
各製品については、半導体製造装置または精密計測機器をご覧ください。
