表面基準研磨

読み方

おもてめんきじゅんけんま

説明

一般的なCMP技術は加工対象物へ加工圧力を転写する技術である事から、加工対象物裏面へ加圧した場合、加工対象物裏面と加重分布が加工面へ転写されてしまい加工面の加工バラツキが生じる場合がある。加重分布を均一化させる為、加工対象物裏面と接触する冶具の加工精度が重要となり、この加工面を基準にした研磨を裏面基準研磨と呼ぶ。加工対象物裏面の影響がない、或いは少ない研磨を表面基準研磨と呼ぶ。代表的な方式が流体加圧方式であり、エアーバック方式、エアーフロート方式が製品化されている。