Cuコロージョン

かっぱーころーじょん

配線材料に適用された銅は腐食され易い材料であり、特にCu-CMP技術はCuの腐食を誘発させる可能性もある事から防食材の添加も行なわれている。トランジスタ領域に光が入射されると光電効果によって発生した電流によってCu腐食が発生し、これを光コロージョン、光アシストコロージョンと呼ぶ。