研磨布

けんまふ

ポリッシングクロス、研磨パッドのこと。単にクロス、パッドと呼ばれる場合もある。ポリウレタン製のパッドが主流。パッドの硬さによって平坦化性能、ウェハ面内での研磨性能分布に影響を与えることがあるので、アプリケーションによってパッド仕様を変更する必要がある。