ゾーンコントロール機能

読み方

ぞーんこんとろーるきのう

説明

研磨後のウェハ面内の膜厚バラツキを抑える為の機能。ウェハ面内を同心円状に数箇所の範囲(ゾーン)に分け、そのゾーンのウェハ加圧を独立に調整する事が可能。