プローバ

ぷろーば

後工程へ不良チップを流さず、前工程へ解析特性をフィードバックするウェーハ中間検査工程におけるウェーハの検査は通常、プローバ、プローブカード、テスタの3つの構成により行われる。
ウェーハ上には多数のIC,トランジスタ部が作りこまれプローバとテスタにより1つづつ電気特性が検査される。
プローバとしての基本的な役割は、これらウェーハ上にある多数のチップに対して、このチップ内にあるパッド（電極）とプローブカード上のニードルを正確に合わせ、針とパッドをコンタクトさせる動作をウェーハ内の指定されたエリア内の全てのチップに対して行う搬送・位置決め装置である。
尚、通常、この後の工程では、ダイシング装置にてウェーハ上のチップを分離し、ダイマウンタとワイヤボンダで1つのチップに配線をして完成させる。
最終検査は、樹脂封止後に完成品として再度個々に検査をして出荷される。その際には、ハンドラーという装置とテスターとの組み合わせにより検査する。