従来比1.3倍という高い生産性と信頼性で最高のパフォーマンスを発揮できる、300mmウェーハ対応のフルオートダイシングマシンです。

大型基板対応のフルオートダイサです。
ユーザーフレンドリーな操作で高加工品質を実現します。

追求されたスペースファクター、スライドカバー方式とファンクションアレンジ機能の採用により、使いやすさを実現した多用途ダイシングマシンです。

セミオートダイサ等で切断・溝加工されたワークのスピン洗浄・乾燥に最適です。
最大吐出圧10 MPaの高圧スプレー洗浄とスウィングアーム式洗浄ノズルの駆動範囲をワークサイズに合わせることで優れた洗浄能力を実現。最大φ8”のフレームまで対応できます。

ステルスダイシング技術（浜松ホトニクス開発）をステルスダイシングエンジンとして搭載し、最高のパフォーマンスを発揮できるレーザダイシングマシンを開発しました。