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ウェーハダイシングマシン：PS280

独立型２ステージの開発により、切削・位置決めの並列処理を可能にし、最大２倍の高速ダイシングを実現。接続するハンドラーとの連携時間短縮により、システム全体の作業効率向上と処理時間を大幅に高速化

2つの切削ステージ機構ならびに、スピンドル駆動軸と平行な顕微鏡駆動軸を搭載することにより、切削とアライメント並列処理を実現します。

PS280ではスムーズなスクラップ処理を行えるよう、広大な切削エリアを確保して、メンテナンス性を飛躍的に向上しています。（特許申請中）

従来よりもさらに広視野、高解像度の光学系を採用することにより、広視野、且つ鮮明な画像でアライメント等の画像処理を実現。アライメントエラーの低減、及びアライメント時間の短縮を可能とします。（特許申請中）

Items	PS280
Applicable work size (Max)	280 x 110 mm 215mm
Saw-jig size (Max)	φ312 mm
Spindle type	Mechanical bearing type
Spindle output power	1.8 kW
Rotation speed (Max)	30 min^-1
Blade size	3 inches
X-axis cutting speed	0.1～600 mm/sec (X1, X2, both axes)
Y1, Y2, and Microscope-axis stroke	300mm (Y1, Y2, both axes)
Y1, Y2, and Microscope-axis positioning accuracy	0.005/300 mm
Z1, Z2, and Focus-axis positioning accuracy	0.003/1 mm
Theta-axis rotation range	195°
Power supply	AC200~220V 3phase 50/60Hz
Air supply	0.55~0.7 MPa 390 L/min
D.I.water supply	0.4~0.5 MPa 12 L/min
Spindle cooling water	0.2~0.5 MPa 3 L/min
Machine size (W x D x H mm)	1600 x 1685 x 1760 mm

詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。