特長

スピンドル回転数80,000min^-1 を実現

スピンドル軸は、東京精密で長年培った加工技術の粋意を集めた、新開発80,000min^-1 高速回転スピンドルを標準搭載。 今まで実現ができなかった、高速切断、高加工品質の新たな加工分野の世界を切り開きます。( 特許申請中)

X 軸移動速度 毎秒1,000mm を達成 業界初!

X 軸リニアモータの更なる高速化の追求により、移動速度 業界初の毎秒1,000mm を達成。
高速スループット化を実現しました。駆動部には、東京精密で長年培った定評あるエアーガイド方式を採用、リニアモータとの組み合わせにより、完全非接触機構とすることで、振動を抑えた高加工品質を提供します。

3 連式エアー加速洗浄ヘッドで洗浄時間を約1/2 に短縮　業界初!

流水洗浄ユニットでコンタミネーションを低減　業界初!

エアーが止まってもウェーハを落とさない　業界初!

赤色LED 照明、新型顕微鏡の採用

17 インチタッチパネルモニタ採用

直感的な操作が可能なタッチパネル方式を継承。
操作画面の大型化で、視認性、操作性が向上しました。

ソフトウェアのオートメーション化

自動化、簡単化を徹底的に追求したGUI(Graphical User Interface) オペレーションを提供します。
従来、オペレータが介在していた複雑な操作、設定を極力なくし、装置が自ら判断、オペレーションのアシストを積極的に行います。
操作時間の低減、エラーリカバリー機能の強化を実現しました。

1 スピンドルに1 セットの顕微鏡と光学式カッターセットユニット

高倍率顕微鏡、光学式カッターセットユニットをZ1、Z2 それぞれに配置することで、アライメント、カーフチェック、セットアップ時間の短縮と高速化を実現しました。
顕微鏡、光学式カッターセットユニットには、コンタミネーション付着防止のために、メカ式カバーを装備しました。

ブレード間ピッチ25mm 標準採用

小チップ系デバイスなどの場合、ブレード間ピッチを縮めることで、高い生産性を確保できます。
ブレード間ピッチを従来の34mm から25mm とすることで、標準仕様で優れた生産性を発揮します。

優れたメンテナンス性

最適な装置レイアウトは前後からのアクセスを容易にさせ、メンテナンス性が大幅に向上しました。

USB インターフェース採用

バージョンアップや品種データの保存などに威力を発揮するインターフェースとしてUSB 方式を採用しました。

詳細仕様

A-WD-300TX　仕様

最大ウェーハサイズ		φ310mm
フレームサイズ		8″, 12″
スピンドル1, 2	定格出力	1,200kW
	最大回転数	80,000min－1
静的総合精度		0.004mm
X 軸	移動速度	0.1 ～ 1,000mm/s
Y1, 2 軸	位置決め精度	0.002mm/310mm
	制御分解能	0.0001mm
	切削可能範囲	310mm
Z1, 2 軸	位置決め精度	0.003mm/1mm
	移動分解能	0.0002mm
	繰り返し精度	0.0015mm
	最大対応ブレード径	φ60mm
θ軸	制御分解能	0.3arc-s
	最大回転角度	720deg
電源		三相AC200 ～ 220V 50/60Hz ※オプショントランスにてマルチ電源に対応
エアー	供給圧力	0.5 ～ 0.7Mpa
	消費流量	平均250ℓ/min　※但しエアーブローを除く
N2 ガス	供給圧力	0.5 ～ 0.7Mpa
	消費流量	平均100ℓ/min
切削水	供給圧力	0.4 ～ 0.5Mpa
	最大流量	12ℓ/min
洗浄水	供給圧力	0.4 ～ 0.5Mpa
	最大流量	4ℓ/min
スピンドル冷却水	供給圧力	0.2 ～ 0.5Mpa
	消費流量	3ℓ/min（市水可）
装置寸法		1,650W×1,420D×1,800Hmm ※但し突起物含まず
装置重量		1,800kg

主なオプション