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ウェーハダイシングマシン：A-WD-250S

大型基板対応のフルオートダイサです。
ユーザーフレンドリーな操作で高加工品質を実現します。

特長

大型基板対応

Y軸ストロークを256mm確保し、大型基板（長辺230mm相当品）の加工が可能です。また、基板を二枚マウントしたフレームを自動処理することも可能です。

高信頼性

ブレード破損検出機能

高感度光学式を採用しており、リアルタイムでブレードの破損検出を行うことができます。

高操作性

高解像度カラー液晶ディスプレイとタッチパネルを用い、理解しやすい操作画面を実現しました。
グラフィック画面は、装置の状態と目的、操作する人のレベルにより変わり、使いやすさを追求しました。

切削状況を確認するインスペクションステージ

ダイシング工程では不可欠なインスペクション作業において、指定ウェーハを自動的にインスペクションステージに抜きとることができます。また、インスペクション後はステージに戻し、元のカセットスロットへ自動収納できます。

独自のフレームハンドリング

ウェーハをクリーンに保ちます

吸着式フレーム搬送部は伸縮型アームに回転機構を組み合わせた独自の方式を採用し、クリーンで信頼性が高く、また待ち時間の少ないスピーディな処理を行います。洗浄前と洗浄後のウェーハフレームは個別の専用吸着部で処理し、洗浄後のウェーハをクリーンな状態に保ちます。

省スペース

高スループット、高加工品質、高操作性に合わせてCSP基板対応マシンで世界最少のフロアスペースを実現しました。

詳細仕様

A-WD-250S 仕様

切削可能ウェーハサイズ		1" ～ 8"、230×145mm（CSP 基板等）
適用フレーム		5"、6"、8"
X軸	移動ストローク	400mm
X軸	研削速度	0.1 ～ 600mm/sec
Y軸	移動ストローク	256mm
Y軸	最大速度	80mm/sec
Z軸	移動ストローク	35mm
Z軸	分解能	0.0002mm
θ軸	回転範囲	290°
θ軸	最小角度設定範囲	0.648"
アライメント	顕微鏡方式	高倍/ 低倍2 段切り替え式
アライメント	モニタ上倍率	高倍：350 倍　低倍：88 倍
スピンドル	方式	DCブラシレスモータ内蔵エアスピンドル
スピンドル	最大回転数	60,000min^-1
スピンナ	最大回転数	3,000min^-1
諸元	電源	3 相 AC 200 / 220 / 240 / 380 / 415 V ±10%
	消費電力	2.5kVA
	エア源	0.5 ～ 0.6Mpa 220ℓ/min
	スピンドル冷却水	0.2 ～ 0.5Mpa 1.5ℓ/min
	研削水	0.4 ～ 0.5Mpa 2 ～ 8ℓ/min
	窒素ガス源	0.5 ～ 0.6Mpa 100ℓ/min
	装置寸法、質量	1,153^W×1,170^D ×1,300^Hmm　1,000kg

主なオプション

光学式カッターセットユニット

ブレードにダメージを与えない非接触式の加工位置設定を行います。

形状認識装置

割れウェーハ、部分ウェーハの形状を自動的に認識し、加工領域を最適化することにより、効率の良い加工が可能です。

オートドレス用カセット

5枚までのドレスボード、ミラーウェーハを付けたフレームを装着できるため、マシンが稼動中でも自動的にドレシングが可能です。

内蔵型UV照射ユニット

内蔵型UV照射ユニットを搭載し、照射むらの少ない低コスト、高パフォーマンスのUV照射機能を実現します。

バーコードによる自動品種切換え

カセット、フレームに付けられたバーコードを読み取り、自動的に品種切換えを実行します。

メロディアラーム

アラーム音を指定されたメロディにします。

FA化対応システム

SEDS、GEM等のネットワークに対応します。
FA化ラインに適合するローダ・アンローダシステム等にも対応します。

高圧ポンプユニット

スピンナ洗浄用の高圧水を作ります。このユニットは本体に内蔵されます。

昇圧ポンプユニット

切削水の圧力を上げます。

恒温水装置

供給水の温度を一定にします。

カタログダウンロード

詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。

ウェーハダイシングマシン：A-WD-250S カタログ(PDF：506KB)