特長

高スループット

対向形の2スピンドル配置とX軸の高速化（最大600mm/sec）により、高スループットを実現しました。

高信頼性

X軸は定評あるエアベアリング、セラミックスガイドに加え、リニアモータを採用することにより完全非接触駆動機構とし、メンテナンスフリー化しました。吸着式フレームハンドリングは、定評ある独自の方式を採用し、クリーンで信頼性が高くスピーディな処理を行います。また新型高速・高剛性スピンドルの採用により、低振動、高信頼性を実現しました。

省スペース

高加工品質

X軸の駆動部にリニアモータを採用することにより振動を抑え、高加工品質を実現しました。
また、スピンドルの保持を抱えこみ型保持機構にすることにより剛性を上げたことも、高加工品質の実現に大きく寄与しています。

高操作性

詳細仕様

A-WD-200T 仕様

切削可能ウェーハサイズ		1"～8"
適用フレーム		6"、8"
X軸	ストローク	450mm
	切削ストローク	250mm
	切削速度	0.1mm～600mm / sec
Y軸	移動ストローク	250mm
	最大速度	100mm / sec
	位置決め精度	0.002mm / 250mm
Z1 / Z2軸	移動ストローク	34mm
	最大速度	40mm / sec
	位置決め精度	0.003mm / 1.0mm
θ軸	回転範囲	380°
	分解能	3.1958×10-2 rad
スピンドル	方式	DCブラシレスモータ内蔵エアスピンドル
	最大回転数	60,000rpm
	定格出力	1.2kW
スピンナ	最大回転数	3,000rpm
諸元	電源	3相 AC 200 / 220 / 240 / 380 / 415 V ±10%
	最大消費電力	4.0kVA
	エア源	0.5～0.7Mpa 300L/min（ANR）
	窒素ガス源	0.5～0.7Mpa 100L/min（ANR）
	冷却水	0.4～0.5Mpa 12L/min max
	低圧洗浄水	0.2～0.5Mpa 5L/min max
	装置寸法	1,230（W）×1,240（D）－732（W）×306（D）、1,350（H）mm

主なオプション

ブレード破損検出器

加工中のブレードの状態を常時監視し、ブレードの破損からウェーハを保護します。

光学式カッターセットユニット

ブレードにダメージを与えない非接触式の加工位置設定を行います。

形状認識装置

割れウェーハ、部分ウェーハの形状を自動的に認識し、加工領域を最適化することにより、効率の良い加工が可能です。

オートドレス用カセット

5枚までのドレスボード、ミラーウェーハを付けたフレームを装着できるため、マシンが稼動中でも自動的にドレシングが可能です。

内蔵型UV照射ユニット

内蔵型UV照射ユニットを搭載し、照射むらの少ない低コスト、高パフォーマンスのUV照射機能を実現します。

バーコードによる自動品種切換え

カセット、フレームに付けられたバーコードを読み取り、自動的に品種切換えを実行します。

メロディアラーム

アラーム音を指定されたメロディにします。

FA化対応システム

SEDS、GEM等のネットワークに対応します。FA化ラインに適合するローダ・アンローダシステム等にも対応します。

高圧ポンプユニット

スピンナ洗浄用の高圧水を作ります。このユニットは本体に内蔵されます。

昇圧ポンプユニット

切削水の圧力を上げます。

恒温水装置

供給水の温度を一定にします。