金属表面の凹凸や微細形状の測定と解析を行う表面粗さ・輪郭形状測定機や、ポールやシャフト等を高精度に回転させて球体や円筒形状の測定と解析を行う真円度・円筒形状測定機は、国内トップシェアを誇っています。
ものの表面を指で触ると「ツルツルしている」とか、「ザラザラしている」と感じますが、このような「ものの表面の状態」を「表面粗さ」といいます。たとえば、自動車エンジンのシリンダー内壁が「ザラザラ」していたら、動きが重くてエネルギーのロスが大きくなってしまいますが、「ツルツル」過ぎるとエンジンオイルが流れ落ちてしまうため、良いエンジンにはならないのです。そこで、「最適のツルツル具合、ザラザラ具合」を定量的に測るのが表面粗さ測定機です。東京精密の表面粗さ・輪郭形状測定機は、触針でものの表面をなぞることで、なぞった部分の表面粗さと断面形状＝輪郭まで同時に測ってしまいます。つまり、1回の測定でミクロの測定とマクロの測定を精密かつ同時にこなす「すぐれもの」が、お客様のご支持をいただいているのです。

半導体製造のウェーハテスト工程で使われているプローバは1964年の市場投入以来、業界に革新的な新基準をもたらし、圧倒的な支持を獲得しました。現在では、世界シェア50%以上のトップシェアを誇っています。
半導体素子は、シリコンなどの半導体金属の薄い円盤の上に、数十個から数千個を碁盤の目のように並べて作ります。この回路素子一つひとつが、電気信号の入力に対して複雑で論理的な電気信号出力をするのですが、切り離した後に狙い通りの性能を持った素子だけを製品にするため、その出来栄えを切り離す前に確認する検査がプロービング・テストです。数mm□の1つの素子に、多い場合は数百個におよぶ30µm□の電極があり、そこに先端径20µmの触針を一度に接触させる装置がプローバです。この作業を全ての碁盤の目に対して行い、終了した基板を収納して次の基板を位置決めする。これを画像処理による位置決めプロセスで、完全に無人のまま繰り返す正確無比なフルオートプローバを世界で初めて実現させて以来、東京精密のプローバは世界中のお客様に圧倒的なご愛顧をいただいています。