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受託加工 有償サービスのご案内

東京精密では、長年の加工ノウハウを活かし、お客様の多様化するニーズにお応えすべく、受託加工有償サービスを提供いたします。加工実績の無い新素材の加工、生産性向上の条件見直し、生産量が少なく設備投資が難しい少量多品種加工など、研究から試作までのご用途に「品質」・「納期」・「コスト」でご期待にお応えいたします。

小ロット(1 枚)から、試作ロット(数百枚)まで柔軟に対応いたしますのでお気軽にご相談ください。

サービス提供の流れ

お問い合わせ&ご相談→加工材料確認 お見積、納期 お打ち合わせ→(正式発注)→ウェーハお預かり→加工 納品→最終ご確認

無償サービス ・専任担当者によるご案内・ご要望に沿ったプロセスのご提案・適正コストと納期のご提示・ご依頼内容の秘密厳守

有償サービス(お客様へお届け) (1)レーザ加工 ステルスレーザによるドライプロセス (2)ブレード加工 砥石研削プロセス (3)薄片化加工 ポリッシュグラインダ (4)平坦化・鏡面加工 CMP (5)プロセス消耗品の評価

加工プロセス

ブレードダイシング

各種材料に適合したプロセスを確立

カテゴリ 材料
Si/化合物 Si
GaAs
SiC
Si/複合材 Si+ガラス
Si+樹脂
ガラス/セラミックス パイレックス
サファイア
水晶
セラミックス
生セラミックス
金属 ニッケル
タングステン
銅B
樹脂 GA/CSP
ガラエポ基板

レーザダイシング

完全ドライプロセスを適用
MEMSデバイス、薄片化ウェーハ、狭ストリートウェーハに最適

MEMS向け加工では業界標準の装置 ・MEMSデバイス・異型ウェーハ(マルチデバイスウェーハの加工が可能)・極薄ウェーハ

ポリッシュ・グラインディング(PG)

業界トップの薄片化技術を適用

CMP

STI、W-ビア、ダマシン、ILD、Si鏡面化など各種工程に対応可能

STI W-ビア Cu配線

受託加工詳細

加工装置

各種評価装置も完備、条件設定・品質測定に万全

ブレードダイサ

150/200/300mm

フルオートダイサ

セミオートダイサ

パッケージ・シンギュレーション

レーザダイサ

ML200(150/200mm)

ML200

ML300(300mm)

ML300

ポリッシュ・グラインダ

PG200(150/200mm)

PG200

PG300(300mm)

PG300

CMP

ChaMP232(150/200 mm)
ChaMP332(300 mm)

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