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VEGA PLANETをベースとしたテストエリア高効率化を実現する専用端末群
VEGA PLANET
テストエリアの効率向上に貢献する専用端末群です。
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特長
VEGA PLANETは装置で実施していた各種作業をPCで行う為のツールです。
装置で実施していた各種準備、稼働確認等の作業等をクリーンルーム環境からオフィス環境で実施する事により、オペレータの作業性の改善が見込めます。また、装置を本来の「測定」に極力専念させる事により、高価なテスター・プローバの稼働率の向上が見込めます。更に、本ツールを利用してクリーンルームへの人の出入りを抑える事により厳しいクリーン度の維持に寄与致します。
ツール
VEGA PLANETは、以下のツールを提供致します。
品種データ作成、編集ツール（デバイスコマンダー）
パラメータ作成と編集
稼動状況モニタ&リモートツール（リモートモニターツール）
マシン稼働状況
プローバ画面表示
マップファイルの閲覧、編集ツール（マップエディタ）
ウェーハIDと設定データ一覧
ログ解析ツール（ログ解析ツール）
解析表示
検索画面
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