ダイシングマシン:SS30

高剛性機構での省フットプリントを実現した12インチセミオートダイサ
多様なワークに対応

特長1

  • Foot print
    高剛性機構での省フットプリントを実現
  • 多様なワーク対応
    ・300mmウェーハ
    ・ワーク複数枚貼り付けアライメント
    ・変形、伸縮のワークアライメント
  • 高分解能顕微鏡
    顕微鏡分解能の向上
  • 操作性
    17インチタッチパネル搭載による操作性の向上

特長2

新GUI
新GUI
  • 多様なワークに標準対応
    ①12’フレーム搭載可能
    ②300×250mmワーク対応
  • 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
    (オプションで8万回転仕様及び3万回転2.2kw高出力対応可)
  • スループットの向上
    X軸速度800mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
  • 17インチタッチパネル式液晶モニタ+新GUI
    GUI(グラフィカル・ユーザ・インターフェース)を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
  • 複雑なパラメータ設定無しでのカーフチェック機能搭載
    (AIカーフチェック機能)
  • HDD内にレシピデータを10,000件以上管理可能
  • USBポート標準搭載
    (USBメモリを外部記憶装置として使用可能)
  • メンテナンス性向上
    フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
  • エコ機能標準搭載
    バキュームコントロール制御の最適化にてエアー消費量を当社従来機比50%以上削減します。

特長3

広いアクセスエリアを確保
  • メンテナンス
    広いアクセスエリアを確保

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