ダイシングマシン:AD3000T

コア技術を駆使した世界最小フットプリント、高スループットと高加工品質により、優れたCoO(Cost of Ownerships)を実現します。

特長

新GUI
新GUI
  • オプションユニットの小型化、内部最適設計により主要オプションユニットの内蔵が可能
  • 最高回転数6万回転のスピンドルを標準装備
    (オプションで8万回転仕様対応可)
  • スループットの向上
    ①X軸速度1,000mm/sec、Y軸速度300mm/sec、Z軸速度80mm/sec
    ②光学式カッタセット部 2個搭載
    ③世界最小ブレード間ピッチ
  • 17インチタッチパネル式液晶モニタ+新GUI
    GUI(グラフィカル・ユーザ・インターフェース)を搭載し、見やすい画面構成と大型ボタンにより操作性を向上させると共に、対話形式による判りやすい入力形式を採用。
  • 複雑なパラメータ設定無しでのカーフチェック機能搭載
    (AIカーフチェック機能)
  • HDD内にレシピデータを10,000件以上管理可能
  • USBポート標準搭載
    (USBメモリを外部記憶装置として使用可能)
  • メンテナンス性向上
    フロントアクセスドアの大型化によりメンテナンス性を改善
  • エコ機能標準搭載
    バキュームコントロール制御の最適化にてエアー消費量を当社従来機比50%以上削減します。

設置スペース

設置スペース

AD3000Tは、従来機と比較して小型化に成功しました。

半導体製造装置について

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