SURFCOM 1400G-LCD
カスタマイズ対応
大型
表面粗さ測定/表面粗さ測定機

SURFCOM 1400G-LCD

ガラス基板や静電チャック、ウエハなど、薄く面積の大きなワークピースのうねり・表面粗さ・段差量評価に適した表面粗さ測定機

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特長

ガラス基板測定や静電チャック測定で多数の採用実績を誇る表面粗さ測定機

SURFCOM 1400G-LCD ガラス基板測定や静電チャック測定で多数の採用実績を誇る表面粗さ測定機

SURFCOM 1400G-LCDは、薄く面積の大きなワークピースを広範囲に測定することができます。一般的な表面粗さ測定機のようにピックアップ側がX軸方向に動くのではなく、ワークピースを積載するテーブル側(ワークピース移動型駆動部)がX軸方向に動いて測定を行う点が特徴です。300 mmを超える広い駆動範囲と高いX軸真直度精度を両立しており、ワークピースのうねりや表面粗さ、段差高さ等について信頼性の高い測定結果をご提供します。また、ピックアップ保持部をY軸方向に移動させることができるため、ワークピースのさまざまな箇所にアプローチしやすく、複数ラインでのうねり・粗さ評価も可能です。

測定範囲 300 mm × 250 mmタイプ
X軸:300 mm、Y軸:250 mm

測定範囲 500 mm × 500 mmタイプ
X軸:500 mm、Y軸:500 mm

測定範囲 650 mm × 650 mmタイプ
X軸:650 mm、Y軸:650 mm

ニーズに合わせてカスタマイズ

ワークピースに合わせた積載用プレートのご用意や、Y軸電動駆動仕様、静電チャックのエンボスなど細かな部分の測定を正確に行うための測定位置確認ユニット、測定ラインをY軸方向に微調整しながらエンボスの直径付近を測定できるまで自動で再測定するオートリトライ機能など、さまざまなカスタマイズにお応えします。

ニーズに合わせてカスタマイズ

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