Opt-measure

高精度、広温度範囲、コンパクトなセンサヘッド。
新光源・干渉法用いた非接触変位センサです。

特長

非接触変位センサ

新光源・新干渉法の採用。粗面からの散乱光を利用して測定を行うため、ミラーやコーナーキューブが不要。直接反射で測定できます。

多点モニタリング

16 ch のセンサを標準装備。センサとコントローラ間のケーブルは最大1,000 m まで延長可能。実験装置の多点の変位を測定する目的に最適です。

高精度

新干渉法の採用により、直線性: ± 1 μm、繰り返し精度(2 σ ):0.1 μm を実現。

低温度ドリフト

温度安定化光学ユニットにより、温度ドリフトを抑制。20 〜 30 ℃の現場環境で高い精度を実現。
± 0.9 μm @ 25 ± 5 ℃

耐環境・極小センサヘッド

電子部品を一切含まない極小センサヘッドにより、放射線環境下や強磁場、電磁ノイズ環境下でも安定した測定が可能です。

精密測定機器について

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