非接触三次元表面粗さ・形状測定機
Opt-scope(オプト スコープ/白色干渉顕微鏡)

白色干渉の原理を用いて、非接触かつ短時間でワーク形状の 面全体を三次元(3D)的に測定・解析できます。ベアリング等の摺動面(高研磨面)の三次元粗さ・傷・磨耗の解析から、 砥石や超硬チップの刃先の形状評価、半導体ウェーハの表面欠損検出まで、多様なアプリケーションに対応します。

特長

最大5つのレンズを搭載できるレボルバ機構を標準装備

多彩なレンズ群を組み合わせることで、ワークや目的に合わせて最適な測定を行なうことができます。(R モデル)

電動XYステージとスティッチング機能を搭載し、より大きな範囲で測定が可能に

25 mm または 50 mm の電動ステージを利用し、“ 任意の場所” を、“ 任意の順番” で、“ 複数ヶ所” の測定を連続的に実行します。さらにスティッチング機能を利用して、干渉レンズの視野に収まらない広範囲測定が可能に。

非接触。高分解能。広範囲。

Opt-scope(オプト スコープ)は、0.1 nm の高分解能。
狭範囲の微細粗さ解析から、広範囲のうねり形状解析まで、幅広く応用が可能。
“非接触”かつ“短時間”でワーク形状の面全体を三次元的に評価します。

ISO25178-2に準拠

機械加工面の表面性状を非接触で3D測定・評価

当社独自の手法により、既存の白色干渉顕微鏡が苦手とする 機械加工面の形状データをより鮮明に取得することができるようになりました。高研磨面やMEMS 微細形状の測定から、自動車部品などの機械加工部品の測定まで、測定対象の幅が大きく広がります。

評価・解析例

三次元粗さ解析例

任意断面の二次元粗さ解析例

微細形状解析例

輪郭解析 (Contour)/(Advanced Contour)

グレイン解析(Grain & Particle)

精密測定機器について

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